真空箱式氦檢漏系統操作規程

一、預啟動檢測：

1、檢測提供給系統的壓縮空氣（壓力大于0.6MPa的潔凈壓縮空氣）。

2、檢測吹氮裝置的氮氣供應壓力在0.2MPa之間。

3、確保總電源打開。

4、確保所有緊急停止按鈕處于釋放狀態。

5、檢查輸入氦氣瓶的壓力為0.1MPa。

6、檢查高壓氦氣罐出口手動閥處于打開狀態。

7、檢查排氣管路的出口通暢。

8、檢查PLC通信接口沒有與其它任何通信電纜連接。

9、檢查PLC主機的運行狀態是否存在運行狀態